[대전·대덕] "5분 만에 초박막 산소 화합물 전자소재 제작"

광주과학기술원 윤명한 교수와 중앙대 박성규 교수가 주도한 연구팀이 빛에너지로 산소 화합물로 된 얇은 절연막 소자를 5분 만에 제작할 수 있는 기술을 개발했습니다.

한국연구재단은 이 기술을 활용하면 반도체 산업에서 보통 2시간 정도 필요한 진공 공정 시간을 획기적으로 줄여 생산가를 크게 낮추는 효과가 기대된다고 밝혔습니다.

이번 연구 결과는 재료공학 분야 국제학술지인 '어드밴스드 펑셔널 머티리얼즈(Advanced Functional Materials)' 온라인판에 표지 논문으로 소개됐습니다.

이문석 [mslee2@ytn.co.kr]